I condensatori variabili MEMS hanno la caratteristica di sostituire i diodi varicap convenzionali in molte applicazioni, ad esempio nei variatori di fase, negli oscillatori e nei filtri regolabili. A differenza delle semplici piastre parallele, facili da fabbricare, esistono diverse soluzioni per realizzare condensatori MEMS. Hanno, tuttavia, una escursione massima teorica di sintonizzazione del 50%. Un condensatore variabile RF MEMS ha un rapporto di sintonizzazione pari a 22:1, ossia da 1,5 pF a 33,2 pF di capacità. Questo tipo di condensatore è stato realizzato usando condensatori a membrana bistabile MEMS con intervalli di sintonizzazione compresi tra 70:1 e 100:1, con tensioni di controllo nella gamma 30-55 V, con una velocità di commutazione inferiore a 10 mS e frequenze di funzionamento fino a 40 Ghz.

Tali condensatori possono essere una valida sostituzione ai varicap elettronici con una gamma migliore di sintonizzazione e una perdita più bassa. I condensatori variabili MEMS possono essere usati al posto dei varicap con giunzione MOS e PN, con elemento di sintonia negli oscillatori controllati in tensione. Tuttavia non ci sono dati comparativi sugli oscillatori con un MEMS e un Mos varicap. I ricercatori, quindi, hanno eseguito alcuni esperimenti di progettazione con due oscillatori a 5GHz in CMOS da 0,35 um. Il rumore di fase, nel peggiore dei casi nell’intervallo di sintonizzazione, migliora di 5 dB quando si cambia un MOS con un MEMS Varicap, mantenendo il consumo energetico e la gamma di sintonizzazione quasi constanti. Tuttavia prima che i condensatori MEMS possano essere utilizzati nelle applicazioni mainstream, devono soddisfare alcuni requisiti: la tensione di sintonizzazione richiesta dovrebbe essere ottenibile in CMOS standard e l’inserzione accidentale della capacità dovrebbe essere evitata.