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Misuratore di potenza RF per un preciso controllo

da | 15 Dic, 21 | News |

Il Tegam Gemini 5540A raggiunge una precisione di due sigma di +/-0,5% + 0,5 W per misurazioni e controlli precisi della potenza RF in linea. Integrando un sensore di potenza e un misuratore in un unico strumento, il Gemini 5540A misura a frequenze da 0,2 MHz a 200 MHz e potenza da 3 W a 5000 W. Solo 6,1 Ɨ 2,8 Ɨ 2,5 pollici, questa unitĆ  integrata di Tegam, ora parte di Advanced Energy, sostituisce piĆ¹ strumenti in un’ampia gamma di applicazioni nei mercati dei semiconduttori, delle comunicazioni, industriale e medico.

“Nei processi dei semiconduttori impegnativi come l’incisione al plasma ad alto rapporto di aspetto (HAR), il controllo preciso e l’adattamento da camera a camera del sistema RF hanno un impatto diretto sulle prestazioni del processo”, ha affermato Gerry Blumenstock, vicepresidente, prodotti di rilevamento e controllo critici presso Advanced Energy . ā€œCon il nuovo GEMINI 5540A, gli OEM possono calibrare accuratamente il sistema e monitorare la potenza RF in tempo reale, migliorando la fedeltĆ  e la coerenza dei processi all’avanguardia basati sul plasmaā€.

Il Gemini 5540A ha un display digitale OLED che mostra simultaneamente potenza in avanti e indietro, VSWR e frequenza. Rileva automaticamente la frequenza senza necessitĆ  di riconfigurazione per le misurazioni della potenza diretta e inversa. Lo strumento ĆØ alimentato tramite una porta USB 2.0 standard, una batteria esterna o una presa di corrente CA utilizzando un adattatore USB standard. La calibrazione ĆØ garantita per 12 mesi.

Il misuratore di potenza RF GEMINI 5540A ĆØ disponibile con una varietĆ  di tipi di connettori. Il software di visualizzazione dati Gemini Tools puĆ² essere utilizzato per connettere, visualizzare e raccogliere dati da un massimo di cinque contatori contemporaneamente. L’applicazione Gemini Tools puĆ² essere scaricata gratuitamente.

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